X射线光电子能谱仪检定方法 GBT 25184-2010.pdf

GB/T25184-2010X射线光电子能谱仪检定方法1范团本标准规定了X射线光电子能谱仪的检定方法。本标准适用于使用非单色化A1或MgX射线或单色化A!X射线，且带有溅射清洁用离子枪的X射线光电子能谱仪的检定。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的，凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用本文件。GB/T19500一2004X射线光电子能谱分析方法通则GB/T21006一2007表面化学分析X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪强度标的线性(1S021270:2004,1DT)GB/T22461一2008表面化学分析词汇(1S018115:2001,IDT)GB/T20175一2006表面化学分析溅射深度剖析用层状膜系为参考物质的优化方法(IS014606:2000,IDT)GB/T22571一2008表面化学分析X射线光电子能谱仪能量标尺的校准(I1S015472:2001,IDT)GB/T25185一2010表面化学分析X射线光电子能谱荷电控制和荷电校正方法的报告(IS019318:2004,IDT)IS015470:1999表面化学分析X射线光电子能谱仪所选仪器性能参数表述(SurfaceChemical Analysis-X-ray photoelectron spectrometers-Description of selected instrumentalperformance parameters)ISO18116表面化学分析样品制备和安装程序标准指南(Surface chemical analysis-一Guidelines for preparation and mounting of specimens for analysis)ISO18118:2004表面化学分析AES和XPS均相材料定量分析用实验测定相对灵敏度因子的使用指南(Surface chemical analysis-一Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectronspectroscopy-Guide to the use of experimentally determined relative sensitivity factors for the quantitativeanalysis of homogeneous materials)ISO18516:2006表面化学分析AES和XPS横向分辨率的测定(Surface chemical analysis一Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy-Determination of lateral resolution)1SO19319表面化学分析AES和XPS横向分辨率、分析面积和分析器分析面积的测定(Surface chemical analysis-Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy-Determination of lateral resolution,analysis area,and sample area viewed by the analyzer)ISO24237表面化学分析XPS强度标的重复性和一致性(Surface chemical analysis-一X-rayphotoelectron speetroscopy-Repeatability and constaney of intensity seale)3符号和缩略语下列符号和缩略语适用于本文件。1