MEMS高g值加速度传感器性能试验方法 GBT 33929-2017.pdf

ICS31.200L55中华人民共和国国家标准GB/T33929一2017MEMS高g值加速度传感器性能试验方法Test methods of the performance for MEMS high g accelerometer2017-07-12发布2018-02-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布GB/T33929-20174.2测试系统4.2.1绝对校准测试系统绝对校准则试系统主要由蛋普金森杆、激光干涉仪、数据采集装置等组成。a)冲击加速度幅值：110g210g；b)冲击加速度脉冲宽度：210-s110-5s:c)激光干涉仪最大测速：不小于100m/s:d)速度测量不确定度：不大于3%：)用于激光干涉仪光电信号的采集设备模拟带宽应不小于200MHz,用于加速度传感器输出采集设备模拟带宽不小于(103/：)Hz或更高(：为脉冲持续时间，s)。4.2.2冲击比较测试系统冲击比较校准测试系统主要由冲击激励源、标准加速度传感器、数据采集装置等组成。冲击比较校准冲击激励源主要有冲击台、马歇特锤等。a)冲击加速度幅值：1102g一410g:b)冲击加速度脉冲宽度：110-3s510-s；c)用于加速度传感器输出采集设备模拟带宽不小于(103/：)Hz(t为冰冲持续时间，s)。4.2.3证书文件（实验设备和计量器的检定）试验用的试验设备和计量器具应经过计量检定。5试验的一般规定5.1被测加速度传感器安装若被测加速度传感器使用说明书对安装和连接做了详细规定，应符合使用说明书要求。加速度传感器安装于冲击运动体上，安装面应清洁平滑，粗糙度R1.6m。冲击运动体和被测加速度传感器组合休的共振频率应高于(10/：)Hz(t为脉冲特续时间，s):应注意控制冲击体的旋转和横向运动：应避免冲击机结构指振对冲击运动体的影响。连接导线采用低噪声屏敲电缆，尽可能避免和被测加速度传感器相对运动。5.2放置和预热被测加速度传感器和与试验有关的试验装置正确安装、连接后，应使其在试验环境条件下放置时间不少于1h。试脸前，测试系统应进行通电预热：被测加速度传感器应通电预热0.5h。6试验项目及方法6.1电气性能试验6.1.1试验项目电气性能试验项目如下：a)输入阻抗：