氮化镓激光剥离设备 GBT 37466-2019.pdf

GB/T37466-2019氮化镓激光剥离设备1范围本标准规定了氨化傢激光剥高设备（以下简称“激光剥离设备”）的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氨化傢(GN)基外延层进行剥离的设备，氮化铝滋光剥离设备可参考本标准。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于木文件。GB/T191包装储运图示标志GB2893-2008安全色GB2894一2008安全标志及其使用导则GB/T3768一2017声学声压法测定噪声源声功率级和声能量级采用反射面上方包络测量面的简易法GB/T4208一2017外壳防护等级(IP代码)GB4824一2013工业、科学和医疗(ISM)射频设备骚扰特性限值和测量方法GB/T4942.1一2006旋转电机整体结构的防护等级(IP代码)-分级GB/T5080.7一1986设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案GB/T5171.1一2014小功率电动机第1部分：通用技术条件GB5226.1一2008机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件GB/T6388运输包装收发货标志GB7247.1一2012激光产品的安全第1部分：设备分类、要求GB/T7251.1一2013低压成套开关设备和控制设备第1部分：总则GB/T9969工业产品使用说明书总则GB/T14436工业产品保证文件总则GB/T15706一2012机械安全设计通则风险评估与风险减小GB/T18268.1一2010测量、控制和实验室用的电设备电磁兼容性要求第1部分：通用要求GB/T18490.1一2017机械安全微光加工机第1部分：通用安全要求GB50073一2013洁净厂房设计规范GB/T50087一2013工业企业噪声控制设计规范S/T37一1996电子工业专用设备型号编制及命名方法3术语和定义GB/T15706一2012和GB7247.1一2012界定的以及下列术语和定义适用于本文件。