氮化镓单晶衬底片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法 GBT 32188-2015.pdf

GB/T32188-20155.2样品台5.21样品台应有足够的自由度，使X射线入射束、衍射束、衍射晶面法线及探测器窗口在同一平面内。5.22在进行斜对称衍射试验时，样品台应能使样品围绕其表面法线旋转。常用X射线衍射仪样品台旋转轴如图2所示。X射线入射桌X射战行射束图2X射线衍射仪旋转轴示意图5.3仪器校准按照仪器厂商说明书中的要求和方法定期进行仪器校准。6干扰因素6.1当样品曲率较大时，摇摆曲线半高宽会因弯曲效应而显著增大。为消除因样品弯曲而引入的宽度增加，可适当减小X射线人射束宽度（如在样品前采用0.2mm宽狭缝）或采用布拉格角较大的高指数衍射品面以诚小样品曲常的影响。样品弯曲对摇摆曲线半高宽的贡献可用式(1)表示：B,=S/(rsinen)式中：B,一样品弯曲导致的曲线加宽：S一X射线在样品上的照射面积：，一样品的曲率半径；0一布拉格角。6.2进行斜对称衍射试验时，X射线光束尺寸过大会引起摇摆曲线半高宽的异常加宽，此时应采用较小尺寸的X射线光束。可通过采用狭缝等方法限束实现点状光源。3