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电子级三甲基镓
GBT
37007-2018
电子
甲基
37007
2018
GB/T37007-2018电子级三甲基镓1范围本标准规定了三甲基傢的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、心存和安全。本标淮适用于镓镁合金法、三氯化傢法、格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基像。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。分子式:C,H,Ga相对分子质量:114.83(按2013年国际相对原子质量计算)2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB190危险货物包装标志GB/T3723工业用化学产品采样安全通则GB/T6680液体化工产品采样通则GB/T11446.1电子级水GB12463危险货物运输包装通用技术条件GB15258化学品安全标签编写规定GB15603常用化学危险品贮存通则GB50073洁净厂房设计规范3技术要求三甲基稼的技术指标应符合表1要求。表1技术指标项目指标三甲基嫁(C,H,G)纯度(质量分数)/1099.99995银(Ag)含量/(g/g)0.2金属留(AID含量/(g/g)0.1元素种(As)含量/(ug/g)0.5及其他硼(B)含量/(g/g)0.2元素钡(B)含量/(g/g)0.1含量鼓(Be)含量/(g/g)0.02丝(Bi)含量/(g/g)0.5