电子工业用气体 氨 GBT 14601-2009.pdf

GB/T14601-2009前言本标准代替GB/T14601-1993电子工业用气体氨。本标准与GB/T14601-1993相比主要变化如下：修改标准的名称；一修改适用范围(GB/T146011993的第1章，本版的第1章)；一修改规范性引用文件(GB/T146011993的第2章，本版的第2章)；一修改技术指标内容(GB/T14601-1993的第3章，本版的第3章)；一增加对氨尾气处理的要求（见4.3）；删去按GB5831规定的方法测定氧含量(GB/T14601-1993的4.2.1)；一修改氧、氮、一氧化碳含量的测定(GB/T14601-1993的4.2、4.3、4.4，本版的4.4)；增加氢、氩含量的测定（见4.4）；一增加二氧化碳含量的测定（见4.4）；一修改烃含量的测定(GB/T14601-1993的4.5，本版的4.4)；修改水含量的测定方法(GB/T14601-1993的4.6，本版的4.5)；一增加金属离子的测定方法（见4.6）；一修改标志、包装、贮运及安全(GB/T14601-1993的第6章、第7章，本版的第5章)；增加规范性附录A,并把采用氦放电离子化气相色谱法测定氨中的氢、氧（氩）、氮、一氧化碳、二氧化碳和烃(C1C)含量组分的方法写入该附录（见附录A)。本标准的附录A为规范性附录。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会归口。本标准起草单位：大连光明化工研究院、中国西南油气田成都天然气化工总厂、武汉市鼎立化工有限责任公司、西南化工研究设计院。本标准主要起草人：孙福楠、刘泽军、付永成、谢国清、周鹏云。本标准所代替标准的历次版本发布情况为：GB/T14601-1993。