２０２３年５月第５１卷第９期机床与液压ＭＡＣＨＩＮＥＴＯＯＬ＆ＨＹＤＲＡＵＬＩＣＳＭａｙ２０２３Ｖｏｌ.５１Ｎｏ.９ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ.ｉｓｓｎ.１００１－３８８１.２０２３.０９.０２６本文引用格式：张璐凡，姜薄士，张鹏启，等．超高加速度宏微运动平台基座模态分析与优化设计［Ｊ］．机床与液压，２０２３，５１（９）：１５１－１５６．ＺＨＡＮＧＬｕｆａｎ，ＪＩＡＮＧＢｏｓｈｉ，ＺＨＡＮＧＰｅｎｇｑｉ，ｅｔａｌ．Ｍｏｄａｌａｎａｌｙｓｉｓａｎｄｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎｄｅｓｉｇｎｏｆｕｌｔｒａ－ｈｉｇｈａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎｍａｃｒｏ－ｍｉｃｒｏｍｏｔｉｏｎｐｌａｔｆｏｒｍｂａｓｅ［Ｊ］．ＭａｃｈｉｎｅＴｏｏｌ＆Ｈｙｄｒａｕｌｉｃｓ，２０２３，５１（９）：１５１－１５６．收稿日期：２０２２－０３－０５基金项目：国家自然科学基金青年科学基金项目（５１７０５１３２）；河南省科技厅自然科学项目（２２２１０２２２００８８）；河南省教育厅项目（２１Ａ４６０００６）作者简介：张璐凡（１９８４—），男，博士，副教授，研究方向为仿真优化和微电子制造等。Ｅ－ｍａｉｌ：８９５５１６７７＠ｑｑ.ｃｏｍ。超高加速度宏微运动平台基座模态分析与优化设计张璐凡，姜薄士，张鹏启，唐静静，任彩霞（河南工业大学机电工程学院，河南郑州４５０００１）摘要：超高加速度宏微运动平台基座与音圈电机共振会严重影响平台的定位精度。以基座为研究对象，以提高基座１阶固有频率和降低质量为研究目标，利用ＳｏｌｉｄＷｏｒｋｓ和ＡＮＳＹＳＷｏｒｋｂｅｎｃｈ进行模态分析、拓扑优化、直接优化和响应面优化分析，获得了模态振型、固有频率和优化方案，并对优化后的模型重新进行有限元分析。结果表明：基座１阶固有频率增加６.８％，质量减小８％，提高１阶固有频率同时实现了基座轻量化。关键词：宏微运动平台；基座；模态分析；优化设计中图分类号：ＴＨ６９ＭｏｄａｌＡｎａｌｙｓｉｓａｎｄＯｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎＤｅｓｉｇｎｏｆＵｌｔｒａ－ｈｉｇｈＡｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎＭａｃｒｏ－ＭｉｃｒｏＭｏｔｉｏｎＰｌａｔｆｏｒｍＢａｓｅＺＨＡＮＧＬｕｆａｎ，ＪＩＡＮＧＢｏｓｈｉ，ＺＨＡＮＧＰｅｎｇｑｉ，ＴＡＮＧＪｉｎｇｊｉｎｇ，ＲＥＮＣａｉｘｉａ（ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌａｎｄＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＨｅｎａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏ...
