第45卷第1期压电与声光Vol.45No.12023年2月PIEZOELECTRICS&ACOUSTOOPTICSFeb.2023收稿日期:2022-06-13基金项目:广东省重点领域研发计划基金资助项目(No.2019B010129001)作者简介:刘红斌(1997-),男,湖南省衡阳市人,硕士生,主要从事薄膜体声波滤波器制备与研究工作。通信作者:李国强,博士,教授。文章编号:1004-2474(2023)01-0021-05DOI:10.11977/j.issn.1004-2474.2023.01.005边缘负载FBAR谐振器有限元仿真分析刘红斌1,张铁林1,胡晗1,衣新燕1,2,李国强1,2(1.华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室,广东广州510640;2.广州市艾佛光通科技有限公司,广东广州510700)摘要:外部激励施加于薄膜体声波谐振器(FBAR)时会激发纵向与横向剪切的振动,引发能量损耗,为了减少寄生谐振,降低FBAR器件的工作损耗,提高器件的品质因数,故需要抑制横向剪切振动。该文采用有限元仿真法讨论了顶电极边缘负载参数对FBAR器件横向寄生的影响,并通过COMSOL仿真软件实现且制备了结构完整的谐振器。测试结果表明,负载结构可有效提升器件品质因数约10%。关键词:薄膜体声波谐振器;边缘负载;有限元仿真;寄生中图分类号:TN713;TN603文献标志码:AFiniteElementSimulationAnalysisofEdgeLoadFBARResonatorsLIUHongbin1,ZHANGTielin1,HUHan1,YIXinyan1,2,LIGuoqiang1,2(1.StateKeyLaboratoryofLuminescentMaterialsandDevices,SouthChinaUniversityofTechnology,Guangzhou510640,China;2.TheGuangzhouAifoLightCommunicationTechnologyCo.,Ltd,Guangzhou510700,China)Abstract:Whentheexternalexcitationisappliedtothethinfilmbulkacousticresonator(FBAR),thelongitudi-nalandtransverseshearvibrationwillbeexcited,resultinginenergyloss.Inordertoreduceparasiticresonance,reducetheworkinglossofFBARdeviceandimprovethequalityfactorofthedevice,itisnecessarytosuppressthetransverseshearvibration.Inthispaper,theinfluenceofthetopelectrodeedgeloadparametersonthetransverseparasiticsofFBARdeviceisinvestigatedbyusingthefiniteelementsimulationandimplementedbytheCOMSOLsimulationsoftware,andtheresonatorwithcompletestructureisprepared.Itistestedthattheloadstructurecaneffectivelyimprovethequalityfactorofthedevicebyabout10%.Keywords:FBAR;edgeload;finiteelementsimulation;parasitics0引言薄膜体声波谐振器(FBAR)是利用压电薄膜的压电特性,在电极两端...
