第57卷第2期华中师范大学学报(自然科学版)Vol.57No.22023年4月JOURNALOFCENTRALCHINANORMALUNIVERSITY(Nat.Sci.)Apr.2023收稿日期:2021-11-25.基金项目:国家自然科学基金项目(11747044);湖北省教育厅科研计划项目(B2020153);湖北科技学院科研项目(2020-21X26,2020-22GP01,2019-XB-018,2019-XA-007).*通信联系人.E-mail:952050564qq.com;hchyh2001tom.com.DOI:10.19603/j.cnki.1000-1190.2023.02.009文章编号:1000-1190(2023)02-0250-05多功能磷化铟半导体材料的合成与表征高强1,毛彩霞2*,薛丽2,吴涛3*,胡永红1(1.湖北科技学院资源环境科学与工程学院,湖北咸宁437100;2.湖北科技学院电子与信息工程学院,湖北咸宁437100;3.咸宁职业技术学院工学院,湖北咸宁437100)摘要:该文利用化学喷雾热解法,在773K温度下,基于玻璃衬底沉积得到了磷化铟薄膜.进一步研究发现,磷化铟薄膜为立方相多晶,并且优先取向(111)方向,其直接带隙为1.50eV.磷化铟薄膜呈现n型导电性,电阻率为5.18×103Ω·cm.因此,磷化铟薄膜材料在未来高频、大功率材料和光电子器件领域具有潜在应用.关键词:纳米结构;n型;立方结构;结构特性;电学特性中图分类号:TN304文献标志码:A开放科学(资源服务)标志码(OSID):半导体材料的研究在当今材料研究领域具有举足轻重的作用,这是因为它们都具有特殊性质,且分别对应不同的重要器件用途.磷化铟就是一种重要的半导体材料,它属于Ⅲ-Ⅴ族.与Ⅱ-Ⅵ族材料相比,Ⅲ-Ⅴ族材料因具有更好的光电性能,所以被认为具有更巨大的应用潜力.磷化铟具有直接带隙(1.34eV),它被广泛用于制造发光二极管、激光器、光电探测器和异质结构的场效应晶体管.由磷化铟材料制成的器件更适合用于光纤通信,因为它们可以在石英光纤的低损耗窗口中工作.p型磷化铟材料被用于光电化学水分解[1].材料的稳定性和形态特性决定了沉积膜的应用领域和效果,而不同的沉积方法导致其具有不同的形态特性.因而,研究者们纷纷采用不同的方法来沉积磷化铟薄膜.Ikejiri等利用金属有机气相外延技术沉积得到了磷化铟薄膜,并研究了锌掺杂对磷化铟晶体生长的影响[2].Dutta等利用延展性基底沉积得到了磷化铟薄膜,且报道了其非凡的光致发光响应,因此可以用于光伏和光电应用[3].Chen等使用了一种简单的溶胶-凝胶技术沉积得到了p型磷化铟薄膜,他们预测其在光电化学器件方面的可能应用[4].Yerino等利用分子束外延方法沉积磷化铟薄膜,并研究了其物理性质[5].Patzke等利用气相沉积技术沉积形成了磷化铟纳米线,他们指出...
