IEC62047-14Edition1.02012-02INTERNATIONALSTANDARDNORMEINTERNATIONALESemiconductordevices–Micro-electromechanicaldevices–Part14:ForminglimitmeasuringmethodofmetallicfilmmaterialsDispositifsàsemiconducteurs–Dispositifsmicroélectromécaniques–Partie14:MéthodedemesuredeslimitesdeformagedesmatériauxàcouchemétalliqueIEC62047-14:2012®CopyrightedmateriallicensedtoBRDemobyThomsonReuters(Scientific),Inc.,subscriptions.techstreet.com,downloadedonNov-28-2014byJamesMadison.Nofurtherreproductionordistributionispermitted.UncontrolledwhenprinteTHISPUBLICATIONISCOPYRIGHTPROTECTEDCopyright©2012IEC,Geneva,SwitzerlandAllrightsreserved.Unlessotherwisespecified,nopartofthispublicationmaybereproducedorutilizedinanyformorbyanymeans,electronicormechanical,includingphotocopyingandmicrofilm,withoutpermissioninwritingfromeitherIECorIEC'smemberNationalCommitteeinthecountryoftherequester.IfyouhaveanyquestionsaboutIECcopyrightorhaveanenquiryaboutobtainingadditionalrightstothispublication,pleasecontacttheaddressbeloworyourlocalIECmemberNationalCommitteeforfurtherinformation.Droitsdereproductionréservés.Saufindicationcontraire,aucunepartiedecettepublicationnepeutêtrereproduiteniutiliséesousquelqueformequecesoitetparaucunprocédé,électroniqueoumécanique,ycomprislaphotocopieetlesmicrofilms,sansl'accordécritdelaCEIouduComiténationaldelaCEIdupaysdudemandeur.SivousavezdesquestionssurlecopyrightdelaCEIousivousdésirezobtenirdesdroitssupplémentairessurcettepublication,utilisezlescoordonnéesci-aprèsoucontactezleComiténationaldelaCEIdevotrepaysderésidence.IECCentralOfficeTel.:+412291902113,ruedeVarembéFax:+41229190300CH-1211Geneva20info@iec.chSwitzerlandwww.iec.chAbouttheIECTheInternationalElectrotechnicalCommission(IEC)istheleadingglobalorganizationthatpreparesandpublishesInternationalStandardsforallelectrical,electronicandrelatedtechnologies.AboutIECpublicationsThetechnicalcontentofIECpublicationsiskeptunderconstantreviewbytheIEC.Pleasemakesurethatyouhavethelatestedition,acor...
