污染与治理-122-蚀刻清洗废水工程实例分析杨放（苏州市白云环保工程设备有限公司，江苏苏州215151）摘要：本项目采用混凝沉淀/砂滤炭滤/超滤/两级RO/MVR蒸发工艺处理蚀刻后清洗废水，该废水酸性强、腐蚀性强，废水设备需要采用耐受性材质。废水中含有部分双氧水，需加还原剂去除。经联合工艺处理后的废水能达标回用，且能满足厂方回用要求，水质稳定。工程运行期间，整体运行效果较好，采用MVR蒸发器也能较好地节约运行成本。关键词：蚀刻清洗废水；混凝沉淀；RO膜处理；MVR蒸发；回用中图分类号：TS5文献标志码：ADOI：10.20025/j.cnki.CN10-1679.2023-02-42ExampleAnalysisofEtchingCleaningWastewaterEngineeringYangFang(SuzhouBaiyunEnvironmentalProtectionEngineeringEquipmentCo.,Ltd.,Suzhou,215151,China)Abstract:Thisprojectadoptsthecoagulationsedimentation/sandfilterandcarbonfilter/ultrafiltration/two-stageRO/MVRevaporationprocesstotreatthecleaningwastewaterafteretching.Thewastewaterishighlyacidicandcorrosive,andthewastewaterequipmentneedstobemadeofresistantmaterial.Thewastewatercontainssomehydrogenperoxide,whichneedstoberemovedbyreducingagent.Thewastewatertreatedbythecombinedprocesscanbereusedaccordingtothestandard,andcanmeetthereuserequirementsofthefactoryside,andthewaterqualityisstable.Duringtheoperationoftheproject,theoveralloperationeffectisgood,andtheMVRevaporatorcanalsosavetheoperationcostbetter.Keywords:etchingcleaningwastewater;coagulationandprecipitation;ROfilmtreatment;MVRevaporation;reuse蚀刻后清洗废水包含两路废水：蚀刻后酸洗废水和纯水清洗废水。其中酸洗废水主要污染物质为硝酸、硫酸、氢氟酸及少量双氧水等；后续清洗废水主要是用纯水继续清洗工件，其中主要污染因子有TN、SS、氟化物、pH等，浓度较低。废水处理需根据水质特点，采用分质处理的方法，其中酸洗废水调整pH值后直接进入蒸发器内处理，纯水清洗废水经物化沉淀后进入RO系统内处理。根据相关环保要求，该废水经处理后回用于生产清洗工段，不外排，即达到太湖流域含氮磷废水“零排放”的要求。1工程概况江苏某电子产品厂蚀刻线主要产生两大类废水，蚀刻废水及蚀刻后清洗线排放的清洗废水。蚀刻用药剂主要由硝酸、硫酸、氢氟酸及双氧水等构成，长期使用后需更换新液。蚀刻废水污染物浓度较高...
