收稿日期：２０２２－１１－２１．基金项目：国家自然科学基金项目（５１８７５３３７）；国家基础科研计划项目（ＪＣＫＹ２０１９６０２Ｂ００４）．＊通信作者：戴旭涵Ｅ－ｍａｉｌ：ｘｈｄａｉ＠ｓｊｔｕ．ｅｄｕ．ｃｎＭＥＭＳ和ＭＯＥＭＳ技术专题ＤＯＩ：１０．１６８１８／ｊ．ｉｓｓｎ１００１－５８６８．２０２２１１２１０１可集成制造的平面型电磁直线作动器研究武强１，管伟昌２，戴旭涵１＊，王怀治１，高宇帆１，丁桂甫１（上海交通大学１．微米／纳米加工技术国家级重点实验室；２．先进电子材料与器件平台）摘要：电磁作动器具有输出力大、行程长、无接触等优势，在通信、自动测试、电力电子等领域有着广泛的应用，但受限于体积大、制造工艺复杂，难以满足相关领域电子系统向微型化、集成化的发展需求。针对上述问题，应用平面型集成线圈及高深宽比微结构设计，制造了一种微型化电磁作动器的原型样机，初步测试结果表明，器件的输出力可达毫牛量级，输出位移大于５０μｍ，响应时间小于１０ｍｓ，为进一步开展相关器件研究探明了可行的技术路径。关键词：微电磁驱动器；微线圈；集成制造中图分类号：ＴＭ３５９．９文章编号：１００１－５８６８（２０２２）０６－１０９２－０７ＳｔｕｄｙｏｆＰｌａｎａｒＥｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃＬｉｎｅａｒＡｃｔｕａｔｏｒｓｗｉｔｈＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇＷＵＱｉａｎｇ１，ＧＵＡＮＷｅｉｃｈａｎｇ２，ＤＡＩＸｕｈａｎ１，ＷＡＮＧＨｕａｉｚｈｉ１，ＧＡＯＹｕｆａｎ１，ＤＩＮＧＧｕｉｆｕ１（１．ＮａｔｉｏｎａｌＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＭｉｃｒｏ／ＮａｎｏＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＳｈａｎｇｈａｉＪｉａｏＴｏｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ；２．ＣｅｎｔｅｒｆｏｒＡｄｖａｎｃｅｄＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＭａｔｅｒｉａｌｓａｎｄＤｅｖｉｃｅｓ，ＳｈａｎｇｈａｉＪｉａｏＴｏｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，ＣＨＮ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃａｃｔｕａｔｏｒｈａｓａｗｉｄｅａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｐｒｏｓｐｅｃｔｉｎｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ，ａｕｔｏｍａｔｉｃｔｅｓｔｉｎｇ，ａｎｄｐｏｗｅｒｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓｄｕｅｔｏｉｔｓｈｉｇｈｏｕｔｐｕｔｆｏｒｃｅ，ｌｏｎｇｓｔｒｏｋｅ，ａｎｄｎｏｃｏｎｔａｃｔ，ｂｕｔｉｔｉｓｄｉｆｆｉｃｕｌｔｔｏｍｅｅｔｔｈｅ...
