收稿日期：２０２２－１０－０９．基金项目：国家重点研发计划项目（２０２０ＹＦＢ２００８５０３）；国家自然科学基金项目（６１９７４０８８）．＊通信作者：杨卓青Ｅ－ｍａｉｌ：ｙｚｈｕｏｑｉｎｇ＠ｓｊｔｕ．ｅｄｕ．ｃｎＭＥＭＳ和ＭＯＥＭＳ技术专题ＤＯＩ：１０．１６８１８／ｊ．ｉｓｓｎ１００１－５８６８．２０２２１００９０１基于聚酰亚胺／石墨复合衬底的快速响应ＭＥＭＳ柔性温度传感器刘玉１，时浩程２，果春焕２，王学文３，杨卓青１＊（１．上海交通大学电子信息与电气工程学院，上海２００２４０；２．哈尔滨工程大学材料与化学工程学院，哈尔滨１５０００１；３．西北工业大学柔性电子前沿科学中心（柔性电子研究院），西安７１００７２）摘要：针对现有柔性温度传感器衬底导热慢的问题，为快速监测轴承等曲面的温度，向聚酰亚胺（ＰＩ）中掺入３ｗｔ％石墨（ＧＲ），制备高导热复合材料，得到的ＧＲ／ＰＩ复合薄膜导热率达到０．７７７Ｗ·ｍ－１·Ｋ－１，且具有良好的绝缘性。基于微加工技术，在ＧＲ／ＰＩ复合薄膜上制备了铂薄膜柔性温度传感器，改善了其动态响应特性，响应时间达到７１ｍｓ，优于纯ＰＩ衬底上的铂薄膜温度传感器。除此之外，所制备的柔性温度传感器的线性度、灵敏度和测量重复性等电学性能均较好。将制备的柔性温度传感器用于金属轴表面的温度测量，与商用红外摄像仪对比，两者测量值差别较小（±２℃以内）。关键词：复合薄膜衬底；柔性温度传感器；导热性优化；快速响应中图分类号：ＴＰ２１２．１１文章编号：１００１－５８６８（２０２２）０６－１０６８－０７ＦａｓｔＲｅｓｐｏｎｓｅＭＥＭＳＦｌｅｘｉｂｌｅＴｅｍｐｅｒａｔｕｒｅＳｅｎｓｏｒＢａｓｅｄｏｎＰｏｌｙｉｍｉｄｅ／ＧｒａｐｈｉｔｅＣｏｍｐｏｓｉｔｅＳｕｂｓｔｒａｔｅＬＩＵＹｕ１，ＳＨＩＨａｏｃｈｅｎｇ２，ＧＵＯＣｈｕｎｈｕａｎ２，ＷＡＮＧＸｕｅｗｅｎ３，ＹＡＮＧＺｈｕｏｑｉｎｇ１（１．ＳｈａｎｇｈａｉＪｉａｏＴｏｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，ＳｃｈｏｏｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎａｎｄＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｓｈａｎｇｈａｉ２００２４０，ＣＨＮ；２．ＨａｒｂｉｎＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，ＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓａｎｄＣｈｅｍｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｈａｒｂｉｎ１５０００１，ＣＨＮ；３．Ｎｏｒｔｈｗｅ...
