收稿日期：２０２２－０５－２２基金项目：国防科技１７３计划技术领域基金项目（２０２１ＪＣＪＱＪＪ０１７２）通信作者：王俊强，副教授，博士，主要从事石墨烯传感器、高温封装及三维集成研究。Ｅ⁃ｍａｉｌ：ｗａｎｇｊｑ２１０＠ｎｕｃ.ｅｄｕ.ｃｎ电子元件与材料ＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＣｏｍｐｏｎｅｎｔｓａｎｄＭａｔｅｒｉａｌｓ第４２卷Ｖｏｌ.４２第１期Ｎｏ.１１月Ｊａｎ２０２３年２０２３基于纳米孔结构的超高压石墨烯压力传感器设计吴天金１，２，孔丹２，王俊强１，２（１.中北大学仪器与电子学院，山西太原０３００５１；２.中北大学前沿交叉学科研究院，山西太原０３００５１）摘要：设计了一种基于纳米孔结构的超高压石墨烯压力传感器。由于氮化硼的六方晶体结构与石墨烯的晶体结构高度相似，该传感器采用氮化硼／石墨烯／氮化硼的石墨烯复合异质敏感薄膜作为压力传感器的敏感材料，利用石墨烯薄膜材料的压阻效应对压力进行检测。为保证传感器在４００ＭＰａ的压力载荷下对压力精准的检测，采用数学理论模型计算出不同孔径的纳米孔上石墨烯复合异质薄膜的应变大小，通过有限元仿真软件对石墨烯圆形薄膜的压力进行仿真，得到了圆形薄膜的最优半径。可为超高压石墨烯压力传感的结构设计和性能优化提供一定参考。关键词：石墨烯；纳米孔；超高压；理论模型；有限元仿真中图分类号：ＴＨ８２３文献标识码：ＡＤＯＩ：１０.１４１０６／ｊ.ｃｎｋｉ.１００１－２０２８.２０２３.１３１２引用格式：吴天金，孔丹，王俊强．基于纳米孔结构的超高压石墨烯压力传感器设计．［Ｊ］．电子元件与材料，２０２３，４２（１）：７６－８１.Ｒｅｆｅｒｅｎｃｅｆｏｒｍａｔ：ＷＵＴｉａｎｊｉｎ，ＫＯＮＧＤａｎ，ＷＡＮＧＪｕｎｑｉａｎｇ．Ｄｅｓｉｇｎｏｆａｐｒｅｓｓｕｒｅｓｅｎｓｏｒｂａｓｅｄｏｎｎａｎｏｐｏｒｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅａｎｄｕｌｔｒａ－ｈｉｇｈ－ｐｒｅｓｓｕｒｅｇｒａｐｈｅｎｅ［Ｊ］．ＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＣｏｍｐｏｎｅｎｔｓａｎｄＭａｔｅｒｉａｌｓ，２０２３，４２（１）：７６－８１.Ｄｅｓｉｇｎｏｆａｐｒｅｓｓｕｒｅｓｅｎｓｏｒｂａｓｅｄｏｎｎａｎｏｐｏｒｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅａｎｄｕｌｔｒａ－ｈｉｇｈ－ｐｒｅｓｓｕｒｅｇｒａｐｈｅｎｅＷＵＴｉａｎｊｉｎ１，２，ＫＯＮＧＤａｎ２，ＷＡＮＧＪｕｎｑｉａｎｇ１，２（１.ＳｃｈｏｏｌｏｆＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔａｎｄＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ...
