第45卷第1期压电与声光Vol.45No.12023年2月PIEZOELECTRICS&ACOUSTOOPTICSFeb.2023收稿日期:2022-06-15基金项目:总装备部材料支撑项目作者简介:于明晓(1964-),男,重庆市人,工程师,主要从事晶体生长与后处理的研究。文章编号:1004-2474(2023)01-0026-03DOI:10.11977/j.issn.1004-2474.2023.01.00642°Y钽酸锂晶体生长及性能研究于明晓,龙勇,石自彬,陈哲明,邹少红,丁雨憧(中国电子科技集团公司第二十六研究所,重庆400060)摘要:钽酸锂晶体具有优异的压电性能,是声表面波(SAW)滤波器广泛使用的衬底材料。该文采用自主研制的提拉单晶炉,成功生长出4英寸、42°Y方向、外观完整的钽酸锂晶体。经可见及近红外分光光度计测试,晶体透过率接近80%;经X线摇摆测试,其半高全峰宽(FWHM)为28.4″,单晶性较好;采用差热分析仪对生长的晶体头尾进行居里温度测试,居里温度偏差为4.4℃。声表面波性能测试结果表明,钽酸锂晶体的声表面波速度、机电耦合系数和频率温度系数等指标均满足SAW滤波器的使用要求。关键词:钽酸锂;晶体;提拉法;声表面波滤波器中图分类号:TN384;TM22文献标志码:AStudyonGrowthandPropertiesof42°RotatedYCutLithiumTantalateSingleCrystalsYUMingxiao,LONGYong,SHIZibing,CHENZheming,ZOUShaohong,DINGYuchong(The26thInstituteofChinaElectronicsTechnologyGroupCorporation,Chongqing400060,China)Abstract:Thelithiumtantalate(LiTaO3)singlecrystalshaveexcellentpiezoelectricpropertiesandarewidelyusedassubstratematerialforSAWfilters.Inthiswork,an4inch,42°rotatedYcut,integral,crack-freeLiTaO3singlecrystalwassuccessfullygrownusingthein-housedevelopedCzochralski(CZ)furnace.Thetransmittanceiscloseto80%bythevisibleandnearinfraredspectrophotometertest,itsfullwidthathalfmaximum(FWHM)is28.4″byX-rayrockingtest,whichshowthatthegrowncrystalhasgoodsinglecrystalproperty.TheCurietemper-atureoftheheadandtailofthegrowncrystalismeasuredbythedifferentialthermalanalyzer,andtheCurietem-peraturedeviationis4.4℃.TheresultsofSAWperformancetestshowthattheSAWvelocity,electromechanicalcouplingcoefficientandfrequencytemperaturecoefficientofLiTaO3singlecrystalmeettherequirementsofSAWfil-ter.Keywords:lithiumtantalate;crystal;Czochralskimethod;SAWfilter0引言移动终端用射频滤波器是指用于手机、汽...
