第38卷第2期无机材料学报Vol.38No.22023年2月JournalofInorganicMaterialsFeb.,2023收稿日期:2022-05-29;收到修改稿日期:2022-06-24;网络出版日期:2022-09-15基金项目:国家自然科学基金(52172271);中国科学院战略性先导科技专项(XDB25000000)NationalNaturalScienceFoundationofChina(52172271);StrategicPriorityResearchProgramoftheChineseAcademyofSciences(XDB25000000)作者简介:陈明月(1996–),女,硕士研究生.E-mail:Chenmingyue@shu.edu.cnCHENMingyue(1996–),female,Mastercandidate.E-mail:Chenmingyue@shu.edu.cn通信作者:蔡传兵,教授.E-mail:cbcai@t.shu.edu.cnCAIChuanbing,professor.E-mail:cbcai@t.shu.edu.cn文章编号:1000-324X(2023)02-0199-06DOI:10.15541/jim20220302YBa2Cu3O7-δ薄膜的BaCl2/BaF2-MOD法制备及超导特性研究陈明月,颜志超,陈静,李敏娟,刘志勇,蔡传兵(上海大学理学院,物理系,上海市量子与超导新物态前沿科学基地,上海市高温超导重点实验室,上海200444)摘要:传统三氟乙酸金属有机化学溶液沉积法(TFA-MOD)制备YBa2Cu3O7-δ(YBCO)超导层,Ba倾向于与F结合,从而避免BaCO3的形成。本工作开展了新型基于BaCl2/BaF2途径的化学溶液法生长YBCO超导薄膜的研究。重点研究了添加Cl对YBCO薄膜晶粒取向、微观结构和超导性能的影响,并通过生长反应的热化学计算,分析了BaCl2途径YBCO薄膜的物相转变机制。结果表明:添加Cl有利于抑制a轴晶粒取向,促进c轴晶粒成核。添加Cl的YBCO双层膜起始转变温度(Tc-onset)没有明显变化,约为89.6K,其临界电流密度(Jc)显著提升,Jc达到2.07MA/cm2(77K,自场)。此外,生长反应过程的物相转变分析表明Cl优先与Ba结合形成BaCl2,有效避免BaCO3的形成。本研究结果表明:添加Cl对制备YBCO超导厚膜有促进作用,这为MOD法制备YBCO提供了一种新思路。关键词:YBCO薄膜;MOD法;Cl添加;物相转变中图分类号:TQ174文献标志码:AYBa2Cu3O7-δThinFilm:PreparationbyBaCl2/BaF2-MODMethodandSuperconductingPropertyCHENMingyue,YANZhichao,CHENJing,LIMinjuan,LIUZhiyong,CAIChuanbing(ShanghaiKeyLaboratoryofHighTemperatureSuperconductors,ShanghaiFrontiersScienceCenterofQuantumandSupe-rconductingMatterStates,DepartmentofPhysics,CollegeofSciences,ShanghaiUniversity,Shanghai200444,China)Abstract:Conventionaltrifluoroaceticacidmetalorganicchemicalsolutiondeposition(TFA-MOD)methodforthepreparationo...