www.ChinaAET.comMicroelectronicTechnology微电子技术eFuse失效分析与可靠性电路设计晏颖1，曹玉升1，张睿2（1.上海飞聚微电子有限公司，上海201316；2.浙江大学微纳电子学院，浙江杭州310014）摘要：电编程熔丝（eFuse）基于电子迁移原理，通过熔断熔丝使其电阻特性发生不可逆改变来实现编程操作。提高可靠性是eFuse系统和电路优化设计的核心目标。从eFuse工作原理以及失效模式分析入手，重点介绍了影响其可靠性的系统原因和主要机理及过程，并在综合常规电路设计基础上，结合考虑各种工作模式下和具体模块中存在的影响可靠性的因素，最后提出了具有针对性的电路设计解决方案。关键词：eFuse；可靠性；失效模式；电路设计中图分类号：TN406文献标志码：ADOI:10.16157/j.issn.0258-7998.222961中文引用格式：晏颖，曹玉升，张睿.eFuse失效分析与可靠性电路设计[J].电子技术应用，2023，49(1)：26-31.英文引用格式：YanYing，CaoYusheng，ZhangRui.FailureanalysisofeFuseandreliabilitycircuitdesign[J].ApplicationofElectronicTechnique，2023，49(1)：26-31.FailureanalysisofeFuseandreliabilitycircuitdesignYanYing1，CaoYusheng1，ZhangRui2(1.ShanghaiFeijuMicroelectronicCorporation，Shanghai201316，China；2.SchoolofMicro-NanoElectronics，ZhejiangUniversity，Hangzhou310014，China)Abstract：Basedontheprincipleofelectronmigration,eFuserealizestheprogrammingoperationbyfusingthefusetochangeitsresistancecharacteristicsirreversibly.HighreliabilityisthecoregoalofeFusesystemandcircuitoptimizationdesign.Thispa‐perstartswiththeworkingprincipleandfailuremodeanalysisofeFuse,andthenfocusesonthesystemcausesandprocessesaf‐fectingitsreliability.Basedonthecomprehensiveconventionalcircuitdesign,combinedwiththefactorsaffectingreliabilityinvariousworkingmodesandspecificmodules,finally,asetoftargetedcircuitdesignsolutionsareproposed.Keywords：eFuse；reliability；failuremode；circuitdesign0引言eFuse（ElectricallyProgrammableFuse）技术于2004年由IBM公司首次发布，它基于电子迁移原理工作，即通过电流流过导体时产生的质量输运现象使得导体的电阻属性发生变化[1]。具体来说，eFuse就是在其熔丝两端加上电压，在电流流过时发生电子迁移导致其电阻值增大或者产生焦耳热使其发生热断裂。eF...
