收稿日期：２０２２－１１－１９．基金项目：国家自然科学基金项目（６１９０４０８９）；江苏省自然科学基金项目（ＢＫ２０１９０７３１）；南京邮电大学教改项目（ＪＧ１０６２１ＪＸ２８）．＊通信作者：任青颖Ｅ－ｍａｉｌ：ｒｇｙ＠ｎｊｕｐｔ．ｅｄｕ．ｃｎＭＥＭＳ和ＭＯＥＭＳ技术专题ＤＯＩ：１０．１６８１８／ｊ．ｉｓｓｎ１００１－５８６８．２０２２１１１９０３ＭＯＥＭＳ气体传感技术研究进展蔡炜铭１，任青颖１，２＊，江彦虎１，魏鸿飞１，彭俊越１，常春耘２，薛梅１，２（南京邮电大学１．电子与光学工程学院；２．电子科学与技术国家级实验教学示范中心，南京２１００２３）摘要：微光电子机械系统（ＭＯＥＭＳ）气体传感技术是光学式气体传感器技术与ＭＯＥＭＳ技术、新材料技术相结合的创新型技术方案。ＭＯＥＭＳ气体传感器具有更低的价格、更高的集成度、更强的抗干扰能力，以及更高的测试精度。文章首先阐述了主要的光学气体传感系统的工作原理及系统结构，随后介绍了ＭＯＥＭＳ气体传感技术中最新的微光学器件及微光学系统。通过对ＭＯＥＭＳ气体传感器的主要研究成果和进展的综述，对未来ＭＯＥＭＳ气体传感器的研究重点和研究挑战等进行了展望。关键词：微光电子机械系统；气体传感器；光谱分析中图分类号：ＴＰ２１２文章编号：１００１－５８６８（２０２２）０６－１０４０－０９ＡｄｖａｎｃｅｓｉｎｔｈｅＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＭＯＥＭＳＧａｓＳｅｎｓｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＣＡＩＷｅｉｍｉｎｇ１，ＲＥＮＱｉｎｇｙｉｎｇ１，２，ＪＩＡＮＧＹａｎｈｕ１，ＷＥＩＨｏｎｇｆｅｉ１，ＰＥＮＧＪｕｎｙｕｅ１，ＣＨＡＮＧＣｈｕｎｙｕｎ１，２，ＸＵＥＭｅｉ１，２（１．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃａｎｄＯｐｔｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ；２．ＮａｔｉｏｎａｌＥｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌＴｅａｃｈｉｎｇＤｅｍｏｎｓｔｒａｔｉｏｎＣｅｎｔｅｒｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＮａｎｊｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＰｏｓｔｓａｎｄＴｅｌｅｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１００２３，ＣＨＮ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＭＯＥＭＳｇａｓｓｅｎｓｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｉｓａｎｉｎｎｏｖａｔｉｖｅｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｃａｌｓｏｌｕｔｉｏｎｆｏｒｏｐｔｉｃａｌｇａｓｓｅｎｓｉｎｇｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓｃｏｍｂｉｎｅｄｗ...
