-28-热点研究HotResearchPATENTAGENCY专利代理*作者单位：国家知识产权局专利局电学发明审查部。Micro-LED显示中的巨量转移技术纪骋*●摘要：Micro-LED显示以其优异的性能成为了VR/AR应用的首选显示技术，而巨量转移技术作为Micro-LED显示中的关键技术，成为了近年迅速发展的技术之一。本文首先从产业和技术的两个角度对巨量转移技术进行了介绍，然后通过专利文献分析的方法，对该技术的发展状况、申请来源地及目标地的区域分布状况以及重要申请人等进行了统计和分析，最后梳理了巨量转移技术的主要技术路线。●关键词：Micro-LED；巨量转移；显示；专利分析一、概述随着计算机、互联网技术的进步，给用户带来沉浸式人机交互体验的AR/VR（增强现实/虚拟现实）技术已经成为新的发展方向。特别是，去年10月扎克伯格宣布将Facebook改名为Meta，迅速引燃了人们对于“元宇宙”相关技术的关注，VR/AR技术作为“元宇宙”底层硬件技术，更加成为了产业的重点关注对象。为了带来更有真实感的视觉体验，VR/AR技术对显示技术提出了更高的要求。Micro-LED显示相对于现有的主流显示技术，具有功耗低、亮度高、解析度与色彩饱和度超高、响应速度快、寿命长、效率高等优势，是当前最有望满足VR/AR技术应用的显示技术。2012年索尼公司推出了世界上第一个Micro-LED显示屏，2014年苹果公司收购了一家专注于Micro-LED显示的公司LuxVue，并着力发展Micro-LED显示在其产品中的应用，这引起了业界极大的关注。此后，三星、LG、京东方等显示面板企业也陆续进入赛道，开始推出自己的Micro-LED显示屏，松下公司旗下的Shiftall公司也将于今年推出全球首款采用Micro-LED的VR眼镜。如图1所示，从技术上看，尽管Micro-LED显示产业可以直接转用传统显示产业和LED产业中已经发展较成熟的TFT技术和LED技术，不少厂家也很早就推出了样品，但至今很难走上大规模商业化应用的道路，其瓶颈就在于巨量转移技术（也称微转移技术），即如何使得预制的小尺寸LED结构按照需求规则地排列在TFT背板上。巨量转移技术看似只是传统转移技术小型化的演进，然而，在当前高度集成化的半导体制造领域，将小尺寸的单体精确地转移是非常困难的，主要的问题在于转移的效率和良率这两个方面。例如在Micro-LED显示的应用场景下，一块面板所需要转移的单体个数常常在千万量级，如何HotResearch热点研究-29-PATENTAGENCY专利代理把这么大数量的单体快速进行转移，这对于生产来说是一个重要问题；此外，对于如...
