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2023
激光
导热
检测
设备
哪些
优点
激光导热仪检测设备有哪些优点
激光导热仪检测设备M3B主要是测量热物性值中热渗透率的一种设备,可以进行微小领域〔微米等级〕和纳米薄膜等的测量。
产品应用
微小领域〔微米等级〕、纳米薄膜、Sic〔单晶体、多晶体〕、AIN等的测量。
热分析仪激光导热检测设备TM3B的优势:
激光导热仪检测设备是测量热物性值中热渗透率的一种设备;
可以通过点、线、面测量样品的热物性;
可测量微米等级的热物性值的分布;
全球首个非接触方式且高分辨率的热物性测量设备;
检测光点径3μm、高分辨率来测量微小领域的热物性〔点、线、面 测量〕;
可改变深度范围进行测量,从薄膜、多层膜到散装材料都可测量;
基板上的样品也可测量;
激光非接触式测量;
可检测薄膜下的裂纹、孔隙、脱落等问题。
主要规格
名称/商品名
热物性显微镜/ThermalMicroscope
测量模式
热物理性分布测量〔1次元2次元1点〕
测量项目
热渗透率、〔热扩散率〕、〔热传导率〕
检测光点径
约3μm
1点测量标准时间
10秒
测量对象薄膜
厚度数百nm~数十μm
重复精度
耐热玻璃、硅的热渗透率±10%以内
样品
样品支架30mm×30mm,厚度5mm,样品外表的镜面需要研磨
板状样品30mm×30mm以内,厚度3mm以内,样品外表需Mo溅镀
使用温度范围
24℃±1℃〔根据设备内部温度感应器〕
平台移动距离
X轴方向20mm
Y轴方向20mm
Z轴方向10mm
加热用激光
半导体激光波长:808nm
检测用激光
半导体激光波长:658nm
电源
AC100V~1.5kVA
标准配件
样品支架、基准样品
x选项
光学平台、空调机、空调用booth、spatter装置
本体
外形尺寸:730(W)x620(D)x560(H)mm重量:80.0Kg
电源箱
外形尺寸:620(W)x480(D)x310(H)mm重量:26.4Kg
※设备的性能以及外观有改善变更时,不会事先告知。
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