ASTM_D_5127_-_13_rus.pdf
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TM_D_5127_
_13_rus
D 512713 ,STANDARD GUIDE FOR ULTRA-PURE WATER USED IN THE ELECTRONICS AND SEMICONDUCTOR INDUSTRIES 2017 ():09.03.2017:3097-17/ASTM -,.9,-49,-1,119049.:(499)236-54-49:(499)230-13-72 E-mail:interstgost.ru http:/www.interstandart.ru/(ASTM International)100 rr Harbor Drive,West Conshohocken,PA 19428,USA.ASTM International ,ASTM International.-,ASTM International ,.This translation is executed by FBU“CIC“Interstandard”of Federal Agency on Technical Regulating and Metrology under the license of American Society for Testing and Materials(ASTM International)100 rr Harbor Drive,West Conshohocken,PA 19428,USA.ASTM International does not approve and does not confirm these translations and in any cases only the English version published with a sign of ASTM International copyright can be considered as the original version.Reproduction of the specified translations by any Party,except for ASTM International or FBU“CIC“Interstandard”,is strictly forbidden according to the USA legislation and international copyright.ASTM D 5127-13 1 D 512713 ,1 D 5127;,.()1.1.1 ,.,0,032.1.2 .,.,1 ASTM D19 D19.02 ,.1 2013.2013.1990.2012.D 5127-12.DOI:10.1520/D5127-13.ASTM D 5127-13 2 ,.1.3 ,D 1193 D 5196.1.4 ,.,.2.2.1 ASTM:2 D 1129,D 1193 D 1976 -D 2791 D 3919 -D 4191 -D 4192 -2 ASTM,ASTM www.astm.org ASTM serviceastm.org.ASTM.Document Summary ASTM.ASTM D 5127-13 3 D 4327 D 4453 D 4517 -D 5173 ,D 5196 D 5391 D 5462 D 5542 D 5544 D 5673 D 5996 D 5997 ,F 1094 ,ASTM D 5127-13 4 ,3.3.1 ,D 1129.3.2 ,:3.2.1 ,F 1094.3.2.2 (),ASTM.4.4.1 ,.,.4.2 .4.3 (,ASTM D 5127-13 5 ).,1,.5.5.1 ,.5.1.1 E-1 0,5 1,0.5.1.2 E-1.1 0,25 0,35.5.1.3 E-1.2 0,09 0,18.5.1.4 E-1.3 0,065 0,032.,.Type E-1.3 ASTM SEMI(),(F063),2010.5.1.5 E-2 1 5.5.1.6 E-3 ASTM D 5127-13 6 5.,.5.1.7 E-4 ,.5.2 ,.5.2.1 5.2.5.5.2.1 ,(,).,.5.2.2 ,.,.ASTM D 5127-13 7 5.2.3 ,.,.185 .185 .;,.,.185 .254 .(),.,.5.2.4 ,.ASTM D 5127-13 8(,).,.,.,10%.5.2.5 ,.-.()(),.,.(99,999%).E-1,E-1.1,E-1.2,E-2 E-3 (1);(.5.3.3 ).ASTM D 5127-13 9 1 A E-1 E-1.1 E-1.2B E-1.3B E-2 E-3 E-4 ()1,0-0,5 0,35-0,25 0,18-0,09 0,065-0,032 5,0-1,0 5,0 ,25C()18,1 18,2 18,2 18,2 16,5 12 0,5 (/)(0,05 500 0,05-0,1 1000 200 0,1-0,2 1000 350 100 0,2-0,5 500 100 10 0,5-1,0 200 50 5 1,0 100 20 1 /()0,1-0,2 1000 700 250 0,2-0,5 500 400 100 3000 0,5-1 100 10 30 10000 10 50 30 10 100000 /100 5 3 1 10 50 100 1 10 1 10 1 -(/)5 3 1 0,5 10 50 1000 -(/)3 1 0,5 0,5 (/)0,1 0,10 0,05 0,050 0,1 0,05 0,02 0,050 0,1 0,05 0,02 0,050 1 10 1000 0,1 0,05 0,03 0,050 0,1 0,05 0,02 0,050 1 5 500 0,1 0,05 0,02 0,050 0,1 0,05 0,02 0,050 1 5 500 0,1 0,05 0,02 0,050 1 5 500 -(/)0,05 0,02 0,005 0,001 0,001 ASTM D 5127-13 10 0,001 0,05 0,02 0,001 0,001 C 0,3 0,1 0,05 0,050 0,010 0,05 0,02 0,002 0,001 0,05 0,02 0,002 0,001 0,05 0,02 0,002 0,001 1 2 500 0,05 0,02 0,002 0,001 0,05 0,02 0,005 0,001 0,05 0,02 0,003 0,001 0,05 0,02 0,002 0,001 0,05 0,02 0,002 0,010 0,05 0,02 0,002 0,001 1 2 500 0,05 0,02 0,005 0,001 2 5 500 0,05 0,02 0,005 0,001 1 5 1000 0,05 0,02 0,001 0,010 0,010 0,010 0,05 0,02 0,002 0,001 1 5 500 ()1 (/10)0,1 (/)8-18 (/)2 A ,.1 .,.B,E-1.3,ITRS(),E-1.2.,E-1.2,.C .ASTM D 5127-13 11 5.2.5.1 .,.,-,24-.3/,5 7/;(50),.E-1,E-1.1,E-1.2 E-1.3 .5.2.5.2 -.,.-,.;.5.3 :5.3.1 .,5.2.,E-4,.ASTM D 5127-13 12 5.3.2 ,E-3.,.,.,.,.5.3.3 ,.E-1,E-1.1,E-1.2,E-1.3 E-2.(),(254,185),5.2.6.6.1 ,1.,.ASTM D 5127-13 13 7.7.1 :7.1.1 ,3,.,.7.1.2 E-1,E-2,E-3 E-4 3.7.1.3 E-1.1,E-1.2 E-1.3 .,.8.8.1 9 ,.,;.,D 4453.8.2 .,.3 ,DC.,.,BDH Ltd.,U.S.,Inc.(USPC),MD.ASTM D 5127-13 14 .-./.(Na),(K),(B)(SiO2).9.1 ,.9.1 D 5391 .9.2 D 5173 D 5997 ().10 -.9.3 D 5462 .9.4 D 5544 .9.5 (/):9.5.1 .,.9.5.2 ,.ASTM D 5127-13 15 .,.,.,.9.5.3 .,.9.6 ()/)F 1094 ();100,1000 .25C 28C,48 7;.28 2C 48.9.7 :9.7.1 (/)D 4517,D 1976 D 5673 GFAAS,ICP-AES ICP-MS;.9.7.2 (/SiO2)-ASTM D 5127-13 16 .9.8 (/),D 4327 D 5542,D 5996.9.9 (/)ICP-AES(D 1976)ICP-MS(D 5673),-.ICP-MS ;,ICP-MS(HR-ICP-MS),ICP-MS(A-ICP-MS),(CCT)(DRC),.9.9.1,D 3919.9.9.2 D 4192.9.9.3 D 2791 D 4191.9.10,1,.9.11 ,1,.10.10.1 ,.ASTM D 5127-13 17,.(),.10.1.1,.11.11.1;.ASTM D 5127-13 18 ASTM International -,.,.,.-ASTM International.,.,.ASTM International,100 Barr Harbor Drive,PO Box C700,West Conshohocken,PA 19428-2959,United States.610-832-9585,610-832-9555 E-mail:serviceastm.org ASTM:(www.astm.org).ASTM(www.astm.org/COPYRIGHT/).
