GB50809-2012：硅集成电路芯片工厂设计规范.pdf
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GB50809
2012
集成电路
芯片
工厂
设计规范
中华人民共和国国家标准硅集成电路芯片工厂设计规范Code for design of silicon integrated circuits wafer fabGB50809-2012主编部门：中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：2012年12月1日中国计划出版社2012北京
