2023年《安全管理》之真空机组使用说明及注意事项.docx

真空机组使用说明及本卷须知 一 真空机组开机流程 1、 启动VB150维持泵，然后翻开出口阀。当电阻计2真空度到达5帕以下时，启动扩散泵加热。 2、 启动VB200旋片泵，翻开旁通阀；当电阻计1真空度到达2022帕以下时，开启2ZJP—300罗茨泵，进行预抽。 3、 扩散泵加热50分钟以上且电离计真空到达5帕以下时，先关闭旁通阀，再翻开主阀，进行主抽。 4、 关闭2ZJP—300罗茨泵，30秒后关闭VB200旋片泵。 二 真空机组关机流程 1、 关闭主阀。 2、 启动-----关机程序。 三 真空机组使用本卷须知 1、 真空机组在使用的整个过程中，必须保证水路、气路完整通畅。 2、 必须严格按照真空机组的开机、关机流程，进行操作。 3、 扩散泵加热过程中，假设不慎断水。应先关闭扩散泵电源，再关闭主阀。然后摘下扩散泵电炉加热器，并使用电风扇进行降温。在这过程中，要一直保持VB150维持泵和出口阀处于开启状态。 4、 扩散泵加热过程中，假设VB150维持泵出现故障不工作，应先关闭出口阀，然后启动VB200旋片泵，再启动2ZJP—300罗茨泵，翻开维持阀进行主抽。